Los nanotubos de Carbono (CNTs) son valiosos por su aplicación en nanotecnología, por sus propiedades eléctricas y alta área superficial. Los CNTs están constituidos por estructuras tubulares cuyo diámetro varía de uno a varios nanómetros, siendo los primeros de pared simple y más allá de los cuatro o cinco nanómetros son de múltiples capas. Los CNTs son considerados como el producto del enrrollamiento de una hoja de carbono de estructura hexagonal en sí misma y en forma concéntrica. Los nanotubos de carbono son una forma alotrópica del carbono, tal como el grafito, diamante o fullerenos. El diámetro y la geometría interna dependen del método de fabricación y de las variables usadas en el mismo.
En nuestro caso, los CNTs se fabrican por la técnica de deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD). Se utiliza un reactor de PECVD con una fuente de radiofrecuencia de 13,56 MHz y potencia de salida de 1200 vatios con un acoplamiento inductivo y adaptación de impedancia. La cámara de vacío está formada por un tubo de vidrio pyrex de 90 cm de largo y 15 cm de diámetro interno, en sus extremos posee dos placas de bronce de cierre con bocas de acceso correspondientes a la entrada de los gases, sistemas de acceso de medición y un difusor de gas de proceso construido en tubo de acero inoxidable AISI 316 con un diámetro de 0,10 cm . El difusor está localizado en las muestras a una distancia de 8 cm. El soporte de muestras está construido con un tubo de acero inoxidable AISI 316 con un diámetro de 0,5 cm, y calefaccionado internamente con un cartucho resistivo. La descarga se efectúa por un sistema de dos bombas de vacío que actúan en paralelo a los efectos de producir un vacío dinámico, lo que asegura un flujo permanente de metano.
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C. Lasorsa, M. Perez, B. Lerner, I. Toper, R. Versaci, A. Lamagna, A. Boselli, Optimization of a Carbon Nanotubes Manufacturing Process by the Technique of PECVD, Procedia Materials Science, Volume 1 (2012), 558-563.